标准详细信息
蓝宝石单晶衬底抛光片 |
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| 标准编号：GB/T 30858-2025 | 标准状态： 即将实施 | 阅读打印版价格： 31.0 |
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标准简介
适用范围：
本文件规定了蓝宝石单晶衬底抛光片（以下简称“蓝宝石衬底片”)的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于直径不大于200 mm的蓝宝石衬底片。产品主要用于外延生长半导体薄膜、生产蓝宝石图形化衬底、蓝宝石键合衬底等。
本文件适用于直径不大于200 mm的蓝宝石衬底片。产品主要用于外延生长半导体薄膜、生产蓝宝石图形化衬底、蓝宝石键合衬底等。
标准编号：
GB/T 30858-2025标准名称：
蓝宝石单晶衬底抛光片英文名称：
Polished mono-crystalline sapphire substrate wafer标准状态：
即将实施发布日期：
2014-07-24实施日期：
2026-05-01出版语种：
中文简体
替代以下标准：
GB/T 30858-2014被以下标准替代：
引用标准：
GB/T 1031,GB/T 2828.1-2012,GB/T 6624,GB/T 13387,GB/T 14140,GB/T 14264,GB/T 19921,GB/T 25915.1-2021,GB/T 29505,GB/T 30857,GB/T 31092,GB/T 31352,GB/T 31353,GB/T 33236,GB/T 33763,GB/T 34210,GB/T 34612,YS/T 26采用标准：
采标名称：
采标程度：
标准类型：
CN标准属性：
GB标准编号：
30858起草人：
鲁雅荣、杨诗音、康森、李素青、郑东、杭寅、张能、陆椿、韩凤兰、李宁、武金龙、董福元、陈斌起草单位：
天通银厦新材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青岛华芯晶电科技有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、广东中图半导体科技股份有限公司、徐州凯成科技有限公司、宁夏材料研究学会、北方民族大学、深圳中机新材料有限公司归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
