标准详细信息
电子级四(二甲氨基)钛 |
||||
| 标准编号：GB/T 46178-2025 | 标准状态： 即将实施 | 阅读打印版价格： 38.0 |
|
|
标准简介
适用范围：
本文件规定了半导体行业用电子级四(二甲氨基)钛的技术要求、检验规则、包装、标志及随货资料、运输、贮存及安全信息的要求,描述了相应的检测方法。
本文件适用于沉积氮化钛、氧化钛、碳化钛和钛掺杂物等钛基薄膜的电子级四(二甲氨基)钛。
本文件适用于沉积氮化钛、氧化钛、碳化钛和钛掺杂物等钛基薄膜的电子级四(二甲氨基)钛。
标准编号：
GB/T 46178-2025标准名称：
电子级四(二甲氨基)钛英文名称：
Electronic grade tetrakis(dimethylamide) titanium标准状态：
即将实施发布日期：
2025-10-05实施日期：
2026-05-01出版语种：
中文简体
替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
GB 190,GB/T 3723,GB/T 6680,GB/T 11446.1,GB 12463,GB 15258,GB 15603,GB/T 16483-2008,GB/T 17519-2013,GB/T 25915.1,GB/T 32566,SJ/T 11637采用标准：
采标名称：
采标程度：
标准类型：
CN标准属性：
GB标准编号：
46178起草人：
陈德义、曹可慰、茅炳荣、徐文涛、陆平、史泽远、孙明璐、孙鹏、陈鹏宇、宣宗亮、张婷、张健、高周、高朋、鲁铮、郭威、赵俊莎、吴怡然、魏良杰、毛国玉、娄夏冰、王小亮、汪海燕、何晓晨、刘立伟、张汝志、孙丽丽、曹益宁、张宝帅、马得森、王博文、彭元兵、刘能巧、孟庆典、孙建、李雪、姚梦、华淑雅起草单位：
南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、苏州实验室、江苏南大光电材料股份有限公司、长江存储科技有限责任公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、苏州源展材料科技有限公司、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、全椒南大光电材料有限公司、宁波南大光电材料有限公司、安徽博泰电子材料有限公司、合肥安德科铭半导体科技有限公司、南大光电(乌兰察布)有限公司、南大光电(淄博)有限公司归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
