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标准详细信息

微束分析　扫描电子显微术　CD-SEM评定关键尺寸的方法
标准编号：GB/T 46057-2025	标准状态：即将实施	阅读打印版价格： 86.0

标准简介

适用范围：

本文件规定了基于模型数据库(MBL)方法通过测长扫描电子显微镜(CD-SEM)成像来测定晶圆和光掩膜的关键尺寸(CD)值所需的结构模型、相关参数、文件格式和拟合程序。
本文件适用于试样的线宽测定，如晶圆上的栅极、光掩膜、单个孤立或密集排列的线特征图案，最小达10 nm。

基本信息

标准编号：
GB/T 46057-2025
标准名称：
微束分析　扫描电子显微术　CD-SEM评定关键尺寸的方法
英文名称：
Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
标准状态：
即将实施
发布日期：
2025-08-29
实施日期：
2026-03-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
71.040.40
中标分类号：
G04

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：
采标名称：
《微束分析　扫描电子显微术　CD-SEM评定关键尺寸的方法》
采标程度：
IDT

出版信息

页数：
52 页
字数：
79 千字
开本：
大大16 开
版次：
1
彩页数：
0
插页数：
有无电子版：
有
有无彩色图片：
无
纸质版出版日期：
2025-08-01 00:00:00.0

标准修订信息

有无修改单：
无
修改单备注：

其他信息

标准类型：
CN
标准属性：
GB
标准编号：
46057
起草人：
丁泽军、陆大宝、邹艳波、毛世峰、李永钢、李会民
起草单位：
中国科学技术大学、新疆师范大学、中国科学院合肥物质科学研究院、安徽大学
归口单位：
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
提出部门：
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

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