标准详细信息
银靶材 |
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| 标准编号：GB/T 26307-2025 | 标准状态： 即将实施 | 阅读打印版价格： 29.0 |
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标准简介
适用范围：
本文件规定了银靶材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单。
本文件适用于半导体器件用的各类银溅射靶材。其他用途的银靶材参照使用。
本文件适用于半导体器件用的各类银溅射靶材。其他用途的银靶材参照使用。
标准编号：
GB/T 26307-2025标准名称：
银靶材英文名称：
Silver target标准状态：
即将实施发布日期：
2010-01-01实施日期：
2026-03-01出版语种：
中文简体
替代以下标准：
GB/T 26307-2010被以下标准替代：
引用标准：
GB/T 1031,GB/T 4135,GB/T 6394,GB/T 8651,GB/T 11067(所有部分),GB/T 15077,GB/T 36590,GB/T 39810,YS/T 837采用标准：
采标名称：
采标程度：
