标准详细信息
电子特气 磷化氢 |
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| 标准编号：GB/T 14851-2025 | 标准状态： 即将实施 | 阅读打印版价格： 29.0 |
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标准简介
适用范围：
本文件规定了电子级磷化氢的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息。
本文件适用于亚磷酸热分解、磷化物水解并经提纯制备的电子级磷化氢。
本文件适用于亚磷酸热分解、磷化物水解并经提纯制备的电子级磷化氢。
标准编号：
GB/T 14851-2025标准名称：
电子特气 磷化氢英文名称：
Electronic specialty gas—Phosphine标准状态：
即将实施发布日期：
1993-12-30实施日期：
2025-10-01出版语种：
中文简体
替代以下标准：
GB/T 14851-2009被以下标准替代：
引用标准：
GB 190,GB/T 3723,GB/T 5099(所有部分),GB/T 5832.3,GB/T 7144,GB/T 14193,GB 15258,GB/T 16804,GB/T 26570.1,GB/T 26571,GB/T 28726,GB/T 34972,TSG R0005,TSG 23采用标准：
采标名称：
采标程度：
标准类型：
CN标准属性：
GB标准编号：
GB/T14851起草人：
孙福楠、曾庆腾、李东升、傅铸红、王百林、曹素英、何经余、沙婷、倪珊珊、万娟秀、朱明、王新喜、孙猛、戴玺、徐孝天、方强、孙建、施旖旎、赵趫、郑新权、陈洁、吴靓、方华、李扬、杨康、唐中伟、黄辉、施卫丰、姜阳、李春华、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、赖晓峰、谭依玲、周鹏云、王科、熊壮起草单位：
西南化工研究设计院有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、上海正帆科技股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、湖北和远气体股份有限公司、全椒南大光电材料有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、浙江省标准化研究院、昊华气体有限公司西南分公司、宿州伊维特新材料有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、上海飞择科技有限公司、上海市计量测试技术研究院、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
