标准详细信息
半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分:高度径向二阶导数法(ZDD) |
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标准编号:GB/T 43894.1-2024 | 标准状态: 即将实施 | 阅读打印版价格: 29.0 |
标准简介
适用范围:
本文件描述了一系列高度径向二阶导数法(ZDD)评价半导体晶片的近边缘几何形态的方法。本文件适用于硅抛光片、硅外延片、SOI片及其他带有表面层的圆形晶片,也用于其他半导体材料圆形晶片近边缘几何形态的评价。
标准编号:
GB/T 43894.1-2024标准名称:
半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分:高度径向二阶导数法(ZDD)英文名称:
Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 1:Measured height data array using a curvature metric(ZDD)标准状态:
即将实施发布日期:
2024-04-25实施日期:
2024-11-01出版语种:
中文简体
标准类型:
CN标准属性:
GB标准编号:
43894.1起草人:
王玥、朱晓彤、孙燕、宁永铎、徐新华、徐国科、李春阳、张海英、陈海婷、丁雄杰、郭正江起草单位:
山东有研半导体材料有限公司、浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司、金瑞泓微电子(嘉兴)有限公司、中环领先半导体材料有限公司、广东天域半导体股份有限公司、鸿星科技(集团)股份有限公司归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)提出部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)发布部门:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会