标准详细信息
电子特气 一氧化氮 |
||||
| 标准编号：GB/T 42721-2023 | 标准状态： 现行 | 阅读打印版价格： 31.0 |
|
|
标准简介
适用范围：
本文件规定了一氧化氮的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的电子用一氧化氮。
标准编号：
GB/T 42721-2023标准名称：
电子特气 一氧化氮英文名称：
Electronic specialty gas—Nitric oxide标准状态：
现行发布日期：
2023-08-06实施日期：
2024-03-01出版语种：
中文简体
替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
GB 190,GB/T 5099(所有部分),GB/T 5832.3,GB/T 7144,GB/T 8979,GB/T 11640,GB/T 14194,GB 15258,GB/T 16804,GB/T 28726,TSG R0005,TSG 23,ISO 19230采用标准：
采标名称：
采标程度：
标准类型：
CN标准属性：
GB标准编号：
42721起草人：
施旖旎、付梦月、陈辉、刘颖、焦培培、郭琼、张天泽、李翔宇、袁瑞玲、邵治平、傅铸红、陈艳珊、金向华、孙猛、廖恒易、茹高艺、曹雪枫、汤萍、牛艳东、李长健、马彬淇、杜大艳、曹小林、方强、袁有录、王小波、尹爱华、常侠、边鲁宁、阳辉、汪正宏、陈洁、吴靓、方华、王昭彬、于庆伟、高艳秋、郝萍、王德发、张体强、张金波、杨金山、秦远望、何波、杨康、黄辉、韩一松、毛玲玲、吴慧明、兰锋、尚柏羊、耿朝曦、王晶、李倩、董硕、顾大正、宫兵、王大为、杨利、钱叶超、吴乾康、梁永强、梁成科、高静、马昌宁、赵刚、赖晓峰、周鹏云起草单位：
大连科利德光电子材料有限公司、昊华气体有限公司、湖州市南浔区佰通标准化研究院、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、绿菱电子材料(天津)有限公司、北京高麦克仪器科技有限公司、三峡大学、湖北和远气体股份有限公司、湖北京瑞气体有限公司、兰州裕隆气体股份有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、昊华气体有限公司西南分公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、中国计量科学研究院、杭州新世纪混合气体有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、联雄投资(上海)有限公司、杭氧集团股份有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、浙江泓芯半导体有限公司、布鲁克(北京)科技有限公司、空气化工产品(中国)投资有限公司、浙江炬和科技有限公司、绍兴科艺标准技术咨询有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
