标准详细信息
光学元件表面疵病定量检测方法 显微散射暗场成像法 |
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标准编号:GB/T 41805-2022 | 标准状态: 即将实施 | 阅读打印版价格: 29.0 |
标准简介
适用范围:
本文件描述了采用显微散射暗场成像法对光学元件表面疵病进行定量检测的检测原理、试验条件、仪器设备、样品、检测步骤、试验数据处理和检测报告。本文件适用于平板类双面抛光光学元件表面疵病的长度、宽度、挡光面积以及疵病位置检测。
标准编号:
GB/T 41805-2022标准名称:
光学元件表面疵病定量检测方法 显微散射暗场成像法英文名称:
Methodology for the quantitative inspection of the defect on optics surface—Microscopic scattering dark-field imaging标准状态:
即将实施发布日期:
2022-10-12实施日期:
2023-05-01出版语种:
中文简体