标准详细信息
电子级正硅酸乙酯 |
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标准编号:GB/T 43965-2024 | 标准状态: 即将实施 | 阅读打印版价格: 38.0 |
标准简介
适用范围:
本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求,描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。
标准编号:
GB/T 43965-2024标准名称:
电子级正硅酸乙酯英文名称:
Electronic grade ethyl orthosilicate标准状态:
即将实施发布日期:
2024-04-25实施日期:
2024-11-01出版语种:
中文简体
替代以下标准:
被以下标准替代:
引用标准:
GB 190,GB/T 191,GB/T 2828.1,GB/T 3143,GB/T 3723,GB/T 5099(所有部分),GB/T 6680,GB/T 7144,GB/T 11446.1,GB/T 14193,GB 15258,GB/T 16804,GB/T 25915.1,GB/T 26793,GB/T 33145,GB/T 37837,SJ/T 11637,SJ/T 11638,TSG 23采用标准:
采标名称:
采标程度:
标准类型:
CN标准属性:
GB标准编号:
43965起草人:
孙猛、金向华、赵俊莎、肖俊平、李楷东、吴怡然、曹可慰、赵斌、陶刚义、孙明璐、陈德义、冯琼华、向冲、王成、黄天次、万烨、张园园、郭树虎、戈士勇、戈烨铭、何珂、李冲合、甘俊、陈道伟、张明英起草单位:
金宏气体股份有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、浙江中宁硅业股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、浙江开化合成材料有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)发布部门:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会