标准详细信息
产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分:非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性 |
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标准编号:GB/T 33523.603-2022 | 标准状态: 现行 | 阅读打印版价格: 46.0 |
标准简介
适用范围:
本文件规定了相移干涉法(PSI)轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。
标准编号:
GB/T 33523.603-2022标准名称:
产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第603部分:非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性英文名称:
Geometrical product specifications (GPS)—Surface texture:Areal—Part 603:Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments标准状态:
现行发布日期:
2022-12-30实施日期:
2023-04-01出版语种:
中文简体